- 超高純度ガス供給系
- 超純水供給系
- 真空装置部材
- その他
精密研磨
サービスの概要
次世代の半導体・液晶などの製造装置ガス供給システムにおいて、超高純度ガスの純度を下げることなくユースポイントに送るために精密研磨技術を用いて、超清浄な表面状態を実現する事に貢献しております。
最終の精密洗浄はクラス100の環境です。
精密洗浄・精密研磨情報サイトもご参照ください。
半導体製造分野における精密研磨実績
対象品目（精密研磨・精密洗浄技術）
- 材質：ステンレス、アルミ、石英 他
- 高純度ガス供給系部材：継ぎ手、フィルター、バルブ、流量計、減圧弁 他
- 真空チャンバー
- 超精密平面研磨（ラップ研磨）
