- 付着物のみを選択的に除去する手法の開発を行っています。
- 対象材の化学的及び物理的特性を調査し、素材を傷める事なく最適な洗浄ができる方法を確立します。
- より高い清浄度を達成するため、新規洗浄法の開発に取り組んでいます。
- 各種分析装置を用い、洗浄後の清浄度を評価しています。
精密洗浄・研磨技術開発
研究開発の概要
半導体、液晶パネル、太陽電池分野をはじめ、宇宙産業・原子力産業・先端研究設備等に必要とされる、超高清浄度・超高純度化を実現するための研究開発を行っています。特に、精密洗浄と研磨をキーワードに研究開発を推進しています。
研究内容
1精密洗浄技術の研究
2研磨技術の研究
- 各種材料や形状に合わせた研磨処理方法の開発を行っています。
- 研磨処理と精密洗浄を組み合わせたクリーンな表面技術開発を行っています。
