技術紹介

NEOS法

ネオス独自の洗浄品表面残留パーティクル測定法です。

  • パーティクル測定粒子径；0.1ミクロン以上 の微粒子検査が可能。
  • 測定環境；無塵容器内での測定を実現（容器上部フィルター、ULPA仕様）。
  • 容器内部は加圧状態をキープ。
  • 測定プローブは、固定測定式を採用。